真空爐是指在接近真空狀態下通過電熱元件加熱的工業爐。真空爐冷卻系統是真空爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是真空爐工作時常被忽視的問題 當無人管理時可能會導致真空爐的重大毀壞。
真空爐鉬加熱體長時間使用以后會呈現變硬、收縮、下墜、先倒伏搭接、后熔斷(融)等現象。為使真空爐加熱絲在高溫下存在必要的強度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要設計真空爐加熱絲的構造尺寸，如螺旋形電阻絲，要注意加熱元件彎徑、螺距和螺旋中徑等。加熱體快要松靠真空爐保溫襯，在保溫襯擱上95陶瓷件，恰當留有其膨脹空間。擱置位置要適合，一般在100～200mm一個，并能堅固鉤住防止電阻絲趴上。此外應避免爐絲互相之間直接接觸(短路)，一般要墊隔離片。
用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積， 以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保證水的pH 值控制， 防止在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在系統工作穩定后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。
真空回火爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做一次重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應該經常檢 查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。
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